CDM integrirani mjerač debljine i površinske gustoće

Aplikacije

Proces premazivanja: online detekcija malih karakteristika elektrode; uobičajene male karakteristike elektrode: praznično gladovanje (nema curenja strujnog kolektora, mala siva razlika u odnosu na normalno područje premaza, neuspjeh CCD identifikacije), ogrebotina, kontura debljine područja prorjeđivanja, detekcija debljine AT9 itd.

Pošaljite nam e-poštu

Detalji proizvoda

Oznake proizvoda

Principi mjerenja

Principi mjerenja površinske gustoće

Metoda apsorpcije X/β-zraka

Principi mjerenja debljine

Korelacija i laserska triangulacija

Karakteristike tehničkog testiranja CDM-a

Scenarij 1: Na površini elektrode postoji praznina/nedostatak širine 2 mm, a jedna ivica je deblja (plava linija kao što je prikazano ispod). Kada je širina pjege zraka 40 mm, utjecaj izmjerenog oblika originalnih podataka (narandžasta linija kao što je prikazano ispod) izgleda očigledno manji.

Scenarij 2: podaci profila područja dinamičkog prorjeđivanja širine podataka 0,1 mm

Funkcije softvera

Tehnički parametri

Ime	Indeksi
Brzina skeniranja	0-18m/min
Frekvencija uzorkovanja	Površinska gustoća: 200 kHz; debljina: 50 kHz
Raspon mjerenja površinske gustoće	Površinska gustina: 10~1000 g/m²; debljina: 0~3000 μm;
Ponavljanje mjerenja tačnost	Površinska gustina: 16s integral: ±2σ: ≤±tačna vrijednost * 0,2‰ ili ±0,06g/m²; ±3σ: ≤±tačna vrijednost * 0,25 ‰ ili +0,08 g/m²; 4s integral: ±2σ: ≤±tačna vrijednost * 0,4‰ ili ±0,12g/m²; ±3σ: ≤±tačna vrijednost * 0,6‰ ili ±0,18g/m²;Debljina: Zona od 10 mm: ±3σ: ≤±0,3μm; Zona od 1 mm: ±3σ: ≤±0,5μm; Zona od 0,1 mm: ±3σ: ≤±0,8μm;
Korelacija R2	Površinska gustina >99%; debljina >98%;
Laserska tačka	25*1400μm
Klasa zaštite od zračenja	Nacionalni sigurnosni standard GB 18871-2002 (izuzeće od zračenja)
Vijek trajanja radioaktivnog materijala izvor	β-zraci: 10,7 godina (poluživot Kr85); Rendgenski zraci: > 5 godina
Vrijeme odziva mjerenja	Površinska gustina < 1 ms; debljina < 0,1 ms;
Ukupna snaga	<3kW